Tiêu chuẩn phòng sạch là những quy định về hàm lượng bụi trong một đơn vị thể tích không khí; nhiệt độ, áp suất và độ ẩm cho phép dùng làm chuẩn. Trong đó hàm lượng bụi là quan trọng nhất. Sử dụng máy đo độ bụi có ý nghĩa quan trọng trong việc thiết kế, thi công, lắp đặt và bảo trì phòng sạch đảm bảo theo từng cấp ứng dụng.
Hiện nay có 3 tiêu chuẩn phòng sạch
- Tiêu chuẩn Federal Standard 209 (1963)
Năm 1963 tiêu chuẩn phòng sạch lần đầu tiên được quy định, lấy tên là 209. Về sau có nhiều cải tiến, hoàn thiện và trở thành các phiên bản như tiêu chuẩn 209 A (1966), 209 B (1973)... cho đến 209 E (1992).
Số hạt/ft3 |
|||||
Loại |
≥0,1µm |
≥0,2µm |
≥0,3µm |
≥0,5µm |
≥5,0µm |
1 |
35 |
7,5 |
3 |
1 |
- |
10 |
350 |
75 |
30 |
10 |
- |
100 |
- |
750 |
300 |
100 |
- |
1000 |
- |
- |
- |
1000 |
7 |
10000 |
- |
- |
- |
10000 |
70 |
100000 |
- |
- |
- |
100000 |
700 |
Chỉ số - là không xác định
Bảng 1: Giới hạn bụi trong tiêu chuẩn 209 (1963)
- Tiêu chuẩn Federal Standard 209 E (1992)
Tiêu chuẩn Federal Standard 209 E xác định hàm lượng bụi lửng ở trong không khí theo một đơn vị chuẩn (đơn vị thể tích không khí: m3). Sự phân loại phòng sạch - cleanroom được xác định theo thang loga của hàm lượng bụi đường kính lớn hơn 0,5 μm. Tiêu chuẩn này đã bị Bộ Thương mại Mỹ hủy bỏ vào năm 2001 nhưng cho đến nay nó vẫn được ứng dụng rộng rãi. Được thể hiện dưới bảng tiêu chuẩn 209E như sau:
Tên loại |
Các giới hạn |
||||||||||
≥0,1µm |
≥0,2µm |
≥0,3µm |
≥0,5µm |
≥5,0µm |
|||||||
Đơn vị |
Đơn vị |
Đơn vị |
Đơn vị |
Đơn vị |
|||||||
SI |
English |
m3 |
ft3 |
m3 |
ft3 |
m3 |
ft3 |
m3 |
ft3 |
m3 |
ft3 |
M1 |
|
350 |
9,91 |
757 |
2,14 |
30,9 |
0,875 |
10,0 |
0,283 |
- |
- |
M1.5 |
1 |
1240 |
35,0 |
265 |
7,50 |
106 |
0,00 |
35,3 |
1,00 |
- |
- |
M2 |
|
3500 |
99,1 |
757 |
21,4 |
309 |
8,75 |
100 |
2,83 |
- |
- |
M2.5 |
10 |
12400 |
350 |
2650 |
75,0 |
1060 |
30,0 |
353 |
10,0 |
- |
- |
M3 |
|
35000 |
991 |
7570 |
214 |
3090 |
87,5 |
1000 |
28,3 |
- |
- |
M3.5 |
100 |
- |
- |
26500 |
750 |
10600 |
300 |
3530 |
100 |
- |
- |
M4 |
|
- |
- |
75700 |
2140 |
30900 |
875 |
10000 |
283 |
- |
- |
M4.5 |
1000 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
35300 |
1000 |
247 |
7,00 |
M5 |
|
- |
- |
- |
- |
- |
- |
100000 |
2830 |
618 |
17,5 |
M5.5 |
10000 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
353000 |
10000 |
2470 |
70,0 |
M6 |
|
- |
- |
- |
- |
- |
- |
1000000 |
28300 |
6180 |
175 |
M6.5 |
100000 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
3530000 |
100000 |
24700 |
700 |
M7 |
|
- |
- |
- |
- |
- |
- |
10000000 |
283000 |
61800 |
1750 |
Bảng 2: tiêu chuẩn Federal Standard 209 E (1992) về giới hạn hàm lượng bụi
- Tiêu chuẩn ISO 14644-1
Tổ chức Tiêu chuẩn Quốc tế (International Standards Organization gọi tắt là ISO) đã quy định những tiêu chuẩn về phòng sạch theo đúng tiêu chuẩn quốc tế. Tiêu chuẩn ISO 14644-1 được phát hành vào năm 1999 có tên "Phân loại độ sạch không khí" (Classification of Air Cleanliness).
Loại |
Giới hạn nồng độ cho phép (hạt/m3) |
|||||
0,1µm |
0,2µm |
0,3µm |
0,5µm |
1µm |
5µm |
|
ISO 1 |
10 |
2 |
- |
- |
- |
- |
ISO 2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
- |
- |
ISO 3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
- |
ISO 4 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
- |
ISO 5 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
ISO 6 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
ISO 7 |
- |
- |
- |
352000 |
83200 |
2930 |
ISO 8 |
- |
- |
- |
3520000 |
832000 |
29300 |
ISO 9 |
- |
- |
- |
35200000 |
8320000 |
293000 |
Chỉ số - là không xác định
Bảng 3: Giới hạn hàm lượng bụi được quy định trong tiêu chuẩn ISO 14644-1
Ngoài 3 tiêu chuẩn nói trên thì ở mỗi ngành khác nhau sẽ có thêm những đòi hỏi riêng cho mình.
Mức độ nhiễm bẩn trong không khí của phòng còn phụ thuộc vào nhiều hạt bụi sinh ra từ những hoạt động trong phòng chứ không chỉ là con số cố định. Vì thế, các tiêu chuẩn của phòng luôn đòi hỏi các hệ thống phải làm sạch liên hoàn và còn quy định cả về quy mô phòng, số người và số hoạt động có thể trong phòng sạch.
#phòng sạch, #tiêu chuẩn phòng sạch, #Tiêu chuẩn Federal Standard 209, #Tiêu chuẩn Federal Standard 209 E, #Tiêu chuẩn ISO 14644-1
LIÊN HỆ
Công ty CPSX Lọc khí Việt - VAF
Chuyên sản xuất thiết bị lọc khí công nghiệp;
Thiết kế và cung cấp giải pháp trọn gói cho hệ thống lọc khí công nghiệp và thiết bị phòng sạch.
Có hệ thống đại lý phân phối và chăm sóc khách hàng trên toàn quốc.
Hotline trực 24/7: 1900 8949
Email: pkd@lockhiviet.com
Website: www.lockhiviet.com
Chuyên sản xuất thiết bị lọc khí công nghiệp;
Thiết kế và cung cấp giải pháp trọn gói cho hệ thống lọc khí công nghiệp và thiết bị phòng sạch.
Có hệ thống đại lý phân phối và chăm sóc khách hàng trên toàn quốc.
Hotline trực 24/7: 1900 8949
Email: pkd@lockhiviet.com
Website: www.lockhiviet.com
Comments
Post a Comment